Разработка специального эталона единиц комплексного коэффициента передачи и отражения (ККП и ККО) на полупроводниковой пластине была представлена Всероссийским научно-исследовательским институтом радиотехнических и физико-технических измерений (ВНИИФТРИ) на заседании Рабочей группы по стандартизации, метрологии, качеству и оценки соответствия при Консультативном Совете Министерства промышленности и торговли Российской Федерации.
В кооперации с технологическими партнерами подведомственный Росстандарту ВНИИФТРИ налаживает производство отечественных калибровочных пластин и зондов с целью обеспечения единства измерений в этой области. Эталон будет состоять из зондовой станции, векторного анализатора цепей, измерительных зондов и вспомогательного оборудования. В качестве калибровочных пластин и измерительных зондов предполагается использовать изделия отечественного производства.
«Полупроводниковые пластины являются основным материалом для производства интегральных схем и других электронных компонентов в микроэлектронике и должны обеспечивать высокую степень точности и надежности в измерениях. Сегодня разработка и внедрение стандартов, регулирующих эти процессы, стали производственной необходимостью в области электронного машиностроения, обеспечивающей высокое качество и надежность продукции. Единые подходы к определению метрологических характеристик эталонных мер и способов передачи единиц (единиц ККО и ККП), воспроизводимых новым эталоном, конечному потребителю, позволят повысить достоверность результатов измерений при разработке, испытаниях и производстве продукции отечественной микроэлектроники», — отметил начальник НИО-1 ФГУП «ВНИИФТРИ» Олег Каминский.
В рамках заседания Рабочей группы были рассмотрены и другие вопросы обеспечения единства измерений и стандартизации в области электронного машиностроения. Напомним, что в этом году Росстандартом был создан новый технический комитет по стандартизации — «Электронное машиностроение и специальные материалы». Разработка нормативно-технической базы в сфере электронного машиностроения будет способствовать достижению технологического суверенитета в области обеспечения российских фабрик технологическим, контрольно-измерительным, испытательным и аналитическим оборудованием, материалами, химическими веществами и систем автоматизированного проектирования (САПР), используемым при производстве электронной продукции.
